中国光刻机传闻引起台媒热议：这是在挑战几十万个零部件的供应链合作，具有产业冲击性

前沿导读

据《海峡卫视》新闻指出，美国媒体一则有关中国DUV光刻机突破的传闻引发全球关注，中国台湾时事评论员王商智指出，光刻机的零部件高达几十万个，ASML是集合了全球顶级供应链资源完成的设备制造，如果中国完成了浸润式DUV光刻机的整机制造，那么也就代表着中国企业完成了几十万个零件的供应链体系，这个影响力是具有冲击性的。

参考资料：
美媒一则中国DUV光刻机突破传闻引发全球资本震动,岛内舆论热议
https://www.toutiao.com/video/7668193644230246958/?log_from=dd5d380d4c12c_1785891597784

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供应链风险

在供应链体系上实现自主可控，这个问题的重要性要远大于整机设备。

典型例子就是华为此前推出过一批4G版的麒麟9000芯片，麒麟9000芯片是台积电制造的5nm芯片，集成5G基带。

但是华为在后续的p50pro产品中搭载了只支持4G信号的麒麟9000，这并不代表是芯片设计上出现了问题，而是因为内部的射频模组出现供应异常。

据媒体指出，在5G芯片具有库存的情况下，华为推出没有5G信号的同款芯片，其唯一的可能就是射频模组出现供应问题。

5G手机需要专用的天线和射频前端，天线部分国内厂商可以负责，射频收发华为也可以自主研发，但射频前端的模组需要依赖海外供应商。

直到mate60系列的发布，中国供应链体系才解决了射频模组的问题。

有这个例子在前，我们可以得出一个结论：拥有设计技术和制造技术只是第一步，最重要的还是供应链体系的稳定性。

光刻技术与平板印刷技术有相似点，二者的英文名称也都是“Lithography”，可以说光刻是平板印刷的一种技术分支。

光刻机的技术原理并不是什么机密信息，但困难的问题是如何在知道技术原理的情况下，将设备制造出来，并且可以让设备在生产线上持续稳定的制造芯片。

早年间美国企业率先制造出了光刻机设备，当时也叫做“曝光机”，后来日本以及荷兰企业纷纷进场，我国也开始在实验室中进行曝光设备的技术摸索。

当年我国曝光设备一直处于实验室的研发阶段，并未实现进一步的市场化发展，况且当时的国情也没有条件来支撑曝光设备的应用。

后来进入改革开放时期，我国开始与海外企业达成合作，以合资的方式引进外来技术。这种合资的方式虽然可以快速让我们拥有较为成熟的产业技术，但是也让我们对海外的技术设备产生了依赖。

芯片制造属于流水线工程，每一个步骤都需要特定设备进行制造，一旦形成一套经过验证，并且工艺成熟、良率较高的生产线，那么这时候对生产线上面的某些设备进行替换，这影响的是整个流程的制造效率。

这也就形成了一个“循环”，用国产设备替换掉进口设备，可能引发制造效率的问题。但是继续使用进口设备，国产设备就很难进入生产线运行，也就没有办法对设备进行进一步的技术升级。

ASML可以持续推出多款DUV光刻机以及两代EUV光刻机，核心因素就是台积电等客户常年累月使用ASML设备，可以给ASML创造大量制造数据，这些数据将会推动ASML开发出更加先进的设备。

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国产化制造

想要在供应链体系上面实现国产化制造，这个难度很高。尤其是当下的光刻机已经不是当年那种简单的“曝光机”水平，激光发射器、镜头平整度、曝光引导系统、晶圆台、对准系统，这些硬件的精密度都是以nm计算，出现一点偏差都会导致大量晶圆报废。

这种极高精度的制造设备，注定是少数企业才能折腾明白的产品。

日本的尼康、佳能虽然是老牌光学巨头，也拥有光刻机的制造能力，但是如今两家的光刻机业务都出现了技术断层。

尼康放弃了EUV项目，目前最先进的设备就是浸润式DUV光刻机，但是其技术水平相当于ASML 10多年前的产品。佳能则是直接放弃了EUV和浸润式DUV的研发，专心搞纳米压印技术，目前只在存储芯片领域投入使用。

ASML是站在产业塔尖的企业，如果说有哪些企业还有机会在光刻机领域跟ASML竞争，那么只剩下中国大陆企业。大陆企业不但持续推进DUV光刻机的研发制造，而且还在持续“啃”EUV这根“硬骨头”。

浸润式DUV和EUV，这是ASML称霸产业市场的两大核心设备。ASML能达到如今的市场统治地位，与供应链合作有很大关系。

蔡司是ASML光刻机的镜头以及曝光系统唯一供应商，蔡司拥有2000项以上的技术专利，这些专利是竞争者难以跨越的鸿沟。

制造EUV光源的美国西盟公司（Cymer），制造激光发射器的德国通快公司，都跟ASML有10年以上的合作经验。

产业先发优势，让ASML及其供应链企业形成了一套技术生态圈。这个生态圈，是目前中国半导体产业正在大力建设的目标。

要构建一套独立于ASML和美国技术生态之外的光刻机产业链，这非常具有挑战性，也是一个大型的工程问题，不过中国企业最擅长的就是从系统工程层面去开发产业技术。