目前全球最顶尖的光刻机,都是ASML的。
特别是EUV光刻机,全球只有ASML一家能造,而浸润式DUV光刻机,虽然还有尼康能制造,但却也是ASML的天下。
但大家不清楚的是,ASML也只是组装厂,光刻机的所有零件中,80%是ASML整合全球供应链的,只有20%自研。
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比如ASML所有的光刻机中,其光学系统,都主要是蔡司提供的。像EUV、浸润式DUV系统中的物镜系统,全球只有蔡司能够提供。
而为了捆绑蔡司,ASML早年间就与蔡司合作,成立了公司专门研究光刻机物镜系统,双方形成了利益共同体,深度绑定。
按照蔡司的说法,目前全球80%的芯片生产,都与蔡司有关系,因为使用的都是蔡司提供的光学系统的光刻机,制造出来的。
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近日,蔡司高管称,与ASML的合作关系良好,双方已共同制定一份相当长期的技术蓝图,目前已规划到约2040年,意思就是双方接下来,将继续在光刻机方面,深度合作,并且有20多年的清晰规划,未来应该走什么样的路径之类的。
蔡司称,他们为了与ASML合作制造出EUV光刻机需要的物镜系统,专门建造了真空舱,尺寸为5米×10米,由超过10万个零件组成,重达150吨以上。
同时为了满足EUV的需求,EUV系统的镜片放大至与德国相同面积,且精度都要小说于100微米的起伏,这种精密度,比原子还精细,是其它所有企业达不到的,这也是蔡司的核心技术。
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不过,蔡司也称,因为美国的禁令,导致现在的EUV光刻机无法卖给中国,同时高端的DUV浸润式光刻机,也无法卖给中国市场了。
而不管是EUV,还是DUV,其物镜系统都是蔡司提供的,所以一定程度上而言,也影响到了蔡司在这一块的收入,且未来随着禁令扩大,对于蔡司而言,也是风险很大的。
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事实上,大家都清楚,最近一年以来,ASML在中国的收入,大幅度下滑,之前ASML中国收入占比高达50%左右,到2026年2季度,已经只有14%了。
ASML在中国收入下滑,当然会直接影响到蔡司,毕竟这两家,已经是利益共同体了,所以蔡司也对禁令不满了。
另外不管是ASML,还是蔡司,最怕的是中国研发出自己的EUV光刻机来,那么全球的EUV格局都会被改定,ASML+蔡司那就真的麻烦了。
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