北京
国家知识产权局信息显示，三河建华高科有限责任公司申请一项名为“一种基于视觉的晶圆预对准装置及方法”的专利，公开号CN122514224A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本发明公开了一种基于视觉的晶圆预对准装置及方法，涉及光刻工艺领域，包括晶圆承载与旋转单元、视觉采集单元、相机位置调节单元以及控制与处理单元，晶圆承载与旋转单元包括固定安装在设备底座上表面的放置架，放置架顶端中部转动安装有晶圆承载台，放置架内部设置有旋转驱动部，旋转驱动部通过联轴器与晶圆承载台之间传动连接，晶圆承载台上表面固定安装有若干真空吸盘；通过视觉采集单元与预对准核心算法的协同作用，背光光源凸显晶圆缺口轮廓，单目工业相机采集高质量图像，配合SIFT特征提取算法、圆拟合算法精准提取特征点并计算圆心偏差与旋转角度偏移量，有效补偿旋转累积误差和机械偏差，与现有技术相比提升了对准精度。
天眼查资料显示，三河建华高科有限责任公司，成立于2003年，位于廊坊市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4200万人民币。通过天眼查大数据分析，三河建华高科有限责任公司参与招投标项目58次，专利信息127条，此外企业还拥有行政许可9个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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