北京
国家知识产权局信息显示，上海聚克流体控制有限公司申请一项名为“一种半导体阀门氦漏率检测方法及系统”的专利，公开号CN122505494A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，本发明提供一种半导体阀门氦漏率检测方法及系统，涉及半导体制造设备检测技术领域，所述方法包括：向被测阀门内部充入设定压力的氦气，采集外部法兰处泄漏的氦气信号，生成泄漏率数据；根据泄漏率数据，启动真空泵对内部腔室抽真空，沿时间轴逐点采集外部检漏端本底氦泄漏信号，生成信号衰减时序序列；根据信号衰减时序序列，计算相邻采样时间点间的信号跌落量，生成下降速率序列。本发明通过偏转夹角识别阶段拐点和吸附态残留估值动态比对，使吹扫时机与实际残留水平匹配，代替了固定等待时长和固定循环次数的经验排氦方式，能够在多工况条件下快速清除残留氦气，缩短测试间隔，提高多工况泄漏率数据的可比性。
天眼查资料显示，上海聚克流体控制有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1081.478万人民币。通过天眼查大数据分析，上海聚克流体控制有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息97条，此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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