北京
国家知识产权局信息显示，北京精恒真空技术有限公司申请一项名为“一种石英晶体激光刻蚀稳定性评估方法及系统”的专利，公开号CN122468184A，申请日期为2026年3月。
专利摘要显示，本发明涉及激光刻蚀技术领域，公开了一种石英晶体激光刻蚀稳定性评估方法及系统，该方法包括：按照预设激光刻蚀工艺参数进行多次重复刻蚀；采集各石英晶体的刻蚀几何参数和性能参数；将刻蚀深度和刻蚀宽度与对应的阈值进行比对，得到刻蚀标准度初值；计算该批次石英晶体刻蚀表面粗糙度的一致性指数，并将刻蚀表面粗糙度与其对应阈值进行比对，得到粗糙标准度，对刻蚀标准度初值进行修正，得到刻蚀标准度终值；计算变化量标准度；根据刻蚀标准度终值与变化量标准度得到刻蚀稳定性评估值，对刻蚀稳定性进行等级划分。本发明构建了一种具有工程可实施性和评价一致性的稳定性评估流程。
天眼查资料显示，北京精恒真空技术有限公司，成立于2004年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，北京精恒真空技术有限公司专利信息2条，此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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