北京
国家知识产权局信息显示，深圳市南方集成技术有限公司申请一项名为“在硅光晶圆的正面制备硅通孔的方法以及硅光晶圆”的专利，公开号CN122476902A，申请日期为2026年4月。
专利摘要显示，本申请公开了一种在硅光晶圆的正面制备硅通孔的方法，包括以下步骤：提供已制备了铝焊盘的硅光晶圆，所述硅光晶圆上形成有光栅耦合器区域；对所述硅光晶圆的正面进行氧化物平坦化处理，以消除制备所述铝焊盘导致的表面高度差；在所述硅光晶圆的正面制备硅通孔；在所述硅光晶圆的正面沉积氮化硅层；进行第一次介质刻蚀，去除覆盖在所述光栅耦合器区域、所述铝焊盘以及所述硅通孔上的氮化硅和/或二氧化硅；制备再布线层；涂覆聚合物材料，并进行第二次介质刻蚀，去除所述光栅耦合器区域以及所述再布线层的待开孔区域的聚合物材料；在所述再布线层上制备凸块。
天眼查资料显示，深圳市南方集成技术有限公司，成立于2005年，位于深圳市，是一家以从事水利管理业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市南方集成技术有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目10次，此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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