国家知识产权局信息显示,施迈茨(中国)有限公司取得一项名为“一种晶圆搬运陶瓷吸盘”的专利,授权公告号CN224556240U,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种晶圆搬运陶瓷吸盘,包括分气块、毛细管、吸盘座、第一陶瓷吸盘、支撑板和夹板,分气块内具有分流腔室,分气块上密封固定安装有气路接头,气路接头通过管路及电磁阀连接至真空发生装置,数根毛细管密封固定安装在分气块上,气路接头、毛细管均连通至分流腔室,吸盘座固定安装在数根毛细管右端。本陶瓷吸盘可以满足500摄氏度以上的环境对晶圆进行无痕搬运作业。吸盘座、第一陶瓷吸盘组合体的高度为4.6mm,支撑板、夹板、第二陶瓷吸盘的高度也为4.6mm,可以进入高度为5mm空间作业,并且可以满足5寸‑12寸的晶圆尺寸。
天眼查资料显示,施迈茨(中国)有限公司,成立于2019年,位于苏州市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本1430万美元。通过天眼查大数据分析,施迈茨(中国)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目5次,专利信息1条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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