晶盛机电申请抛光系统相关专利，该抛光系统可提抛光效率与晶圆产品质量

来源：新浪证券-红岸工作室

7月15日消息，国家知识产权局信息显示，浙江晶盛机电股份有限公司申请一项名为“抛光系统及抛光方法”的专利。申请公布号为CN122378565A，申请号为CN202610582606.3，申请公布日期为2026年7月14日，申请日期为2026年4月28日，发明人朱亮、李阳健、郑猛、邓耀敏、黄金涛、穆炳宏，专利代理机构杭州钤韬知识产权代理事务所（普通合伙），专利代理师杨杰，分类号B24B29/02、B24B27/00、B24B47/12。

专利摘要显示，本申请公开了一种抛光系统及抛光方法，该抛光系统包括抛光腔体、抛光组件、交互组件和分隔件；抛光组件至少部分位于抛光腔体内，并包括第一抛光机构以及与第一抛光机构结构一致的第二抛光机构；交互组件至少部分位于第一抛光机构和第二抛光机构之间；交互组件包括具有转动自由度的交互腔体以及位于交互腔体内的第一交互机构和第二交互机构；分隔件位于抛光腔体内并将第一抛光机构与第二抛光机构分隔；交互腔体能够驱动第一交互机构和第二交互机构分别在第一抛光机构与第二抛光机构之间移动。通过上述设置，可以提高抛光系统的抛光效率并能够提高晶圆的产品质量。

晶盛机电是全球领先的晶体硅生长设备龙头企业，核心从事半导体与光伏晶体生长装备研发制造，具备全产业链技术壁垒。公司成立于2006年12月14日，2012年5月11日在深圳证券交易所上市，注册地为浙江省，办公地为浙江省。

公司主营业务为晶体生长设备及其控制系统的研发、制造和销售，所属申万行业为电力设备-光伏设备-光伏加工设备，同时布局光伏玻璃、蓝宝石、新材料相关概念板块。

2025年，晶盛机电实现营业收入113.57亿元，在12家同行业可比公司中排名第2，仅次于捷佳伟创的154.72亿元，大幅高于行业平均56.11亿元与行业中位数45.56亿元；同期实现净利润8.59亿元，同样位列行业第2，高于行业平均数5.17亿元与行业中位数2.96亿元。从主营业务构成来看，设备及其服务营收84.03亿元，占总营收比重73.98%；材料业务营收24.62亿元，占比21.67%；其他业务营收4.93亿元，占比4.34%。

指标类别具体指标晶盛机电当期数值行业排名/总家数行业首位企业数值行业平均数行业中位数营收表现营业收入113.57亿元2/12捷佳伟创154.72亿元56.11亿元45.56亿元利润表现净利润8.59亿元2/12捷佳伟创26.18亿元5.17亿元2.96亿元营收构成设备及其服务84.03亿元，占比73.98%营收构成材料24.62亿元，占比21.67%营收构成其他4.93亿元，占比4.34%

浙江晶盛机电股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1白光测厚装置、化学机械抛光系统及白光测厚方法发明专利公布CN202610867722.X2026-06-16CN122378578A2026-07-14王悦、朱亮、邓耀敏、俞晨阳、朱宏钰、张永龙2一种微孔加工方法、装置以及工件发明专利公布CN202610636550.52026-05-09CN122322967A2026-07-03王金荣、曹建伟、朱亮、傅林坚、樊叶萍、邓江山3抛光系统及抛光方法发明专利公布CN202610582606.32026-04-28CN122378565A2026-07-14朱亮、李阳健、郑猛、邓耀敏、黄金涛、穆炳宏4抛光系统及抛光方法发明专利公布CN202610579412.82026-04-28CN122378585A2026-07-14朱亮、李阳健、郑猛、黄金涛、穆炳宏5一种空气主轴监测预警方法、监测预警系统、计算机设备以及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610479545.82026-04-13CN122223911A2026-06-16朱亮、谢龙辉、孙菁阳、王宁银、宋帅礼、杨浪6一种空气主轴、控制方法及减薄机发明专利实质审查的生效、公布CN202610480218.42026-04-13CN122274841A2026-06-26朱亮、谢龙辉、孙菁阳、王宁银、宋帅礼7一种线切机的监测方法和线切机发明专利公布CN202610483473.42026-04-13CN122323054A2026-07-03王金荣、朱亮、王家濠8复合电主轴发明专利公布CN202610459892.42026-04-09CN122299521A2026-06-30王金荣、朱亮、曹建伟、林少健、钱勇明9工艺参数测算方法、切割系统、计算机及存储介质发明专利公布CN202610424775.42026-04-01CN122384674A2026-07-14王金荣、朱亮、侯天麒、赵翔宇、杨洁、刘华10一种陶瓷基座面型预测方法、预测系统以及减薄设备发明专利公布CN202610362295.X2026-03-24CN122365819A2026-07-10张俊、杨潮、王嘉梁、潘凌煜11一种相机自动对焦方法、装置、电子设备以及存储介质发明专利公布CN202610357276.82026-03-20CN122372836A2026-07-10刘华、葛凯凯、沈华、傅林坚12晶片脱胶清洗机发明专利实质审查的生效、公布CN202610233965.82026-02-27CN122252405A2026-06-23谢龙辉、王俊、刘彪、黄游、王凯、高子健13单晶硅拉制工艺用超导磁体及工艺磁场的调节方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610091348.92026-01-22CN121983407A2026-05-05朱亮、张瀛、牛加振、张锋、吴志彬14一种晶棒检测方法、装置和设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512036521.32025-12-30CN121702304A2026-03-20张杭军、曹震、朱肖营、王久洲、康新领、张广犬15晶圆激光退火的控制方法、晶圆激光退火方法及相关装置发明专利实质审查的生效、公布CN202512042015.52025-12-30CN121985796A2026-05-05王悦、朱亮、金芊池、陈淑楠16一种减薄方法和装置发明专利公布CN202512015532.32025-12-29CN121624664A2026-03-10王金荣、朱亮、曹建伟、喻捷基17碳化硅晶锭粘接装置及方法发明专利公布CN202512016071.12025-12-29CN121653848A2026-03-13曹建伟、朱亮、王金荣、沈振宏、董凯18一种石英坩埚缺陷检测设备发明专利公布CN202512037116.32025-12-29CN121678539A2026-03-17刘华、沈华、曾若琪、陈双、傅林坚19一种陶瓷基板加工方法、系统及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512023049.X2025-12-29CN121716170A2026-03-24王金荣、朱亮、杨志泉、金峰20一种陶瓷基板加工的流延方法、系统及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512015965.92025-12-29CN121733686A2026-03-27王金荣、朱亮、杨志泉21一种陶瓷基板加工的脱泡方法、系统、设备及存储介质发明专利公布CN202512037177.X2025-12-29CN121819405A2026-04-10王金荣、朱亮、杨志泉22晶片脱胶分片设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512016347.62025-12-29CN121865877A2026-04-14谢龙辉、王俊、刘彪、王凯、张江水、朱亮23方形晶片的加工方法、系统及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512025823.02025-12-29CN121985773A2026-05-05朱亮、李阳健、赵志鹏、先泽文、郭星来24基板缓存装置发明专利授权CN202511872475.42025-12-11CN121292125B2026-04-14张杭军、谢可馨、张广犬、苏毅、曹俊瑶25金刚石生长装置发明专利公布CN202511804877.02025-12-02CN121675073A2026-03-17曹建伟、倪军夫、高宇、刘成波、董熔成、陈焕26超导线性能检测设备及系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511803974.82025-12-02CN122017695A2026-05-12朱亮、张瀛、侯一凡、牛加振、吴志彬27硅晶圆图像缺陷检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511794555.22025-12-01CN121811100A2026-04-07傅林坚、刘华、陈建华、苏奥远、陈双28一种超声微孔加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511719204.52025-11-21CN121374299A2026-01-23王金荣、朱亮、曹建伟、樊叶萍29一种超声微孔加工方法和装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511724496.12025-11-21CN121514980A2026-02-13王金荣、曹建伟、朱亮、樊叶萍、邓江山30晶圆形貌检测数据的补偿方法发明专利授权CN202511576838.X2025-10-30CN121025985B2026-01-30王悦、朱亮、王佳锋、王淼操、金子乾31多线切割工艺参数在线控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511543913.22025-10-27CN121386652A2026-01-23朱亮、王金荣、曹建伟、张安师32晶棒切片加工方法及线切机发明专利授权CN202511485412.32025-10-17CN120985823B2026-03-13王金荣、曹建伟、朱亮、沈振宏、董凯33一种电池片载体、分片电池串加工方法以及分片电池串发明专利实质审查的生效、公布CN202511429085.X2025-09-30CN121215596A2025-12-26朱亮、卢嘉彬、曹建伟、傅林坚34测温结构及立式炉管发明专利授权、实质审查的生效CN202511339634.42025-09-17CN120820244B2025-12-02曹建伟、龚碧瑶、傅林坚、朱亮、刘毅、谢文、徐晓望35用于掩膜片的清洗设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511336710.62025-09-17CN121289203A2026-01-09谢龙辉、蒲涛、王凯、吴建国、夏希林、柴宏录36气体环境管理系统、方法及碳化硅外延炉发明专利实质审查的生效、公布CN202511310193.52025-09-12CN120797192A2025-10-17曹建伟、龚碧瑶、傅林坚、刘毅、牛浩然、张磊37膜带涂布装置及膜带涂布方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511294411.02025-09-10CN121082513A2025-12-09王金荣、朱亮、曹建伟、黄思明38一种提高PVT法生长碳化硅单晶生长速率的装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511292211.12025-09-10CN121087617A2025-12-09胡建荣、欧阳鹏根、闫朝阳、汪传勇、乔发、张志伟39表面改性的碳化硅晶圆及其表面处理方法和应用发明专利实质审查的生效、公布CN202511294461.92025-09-10CN121368348A2026-01-20刘小琴、欧阳鹏根、盛永江、胡建荣、杨水淼、周珊40一种减薄方法、系统以及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511254217.X2025-09-03CN121083402A2025-12-09朱亮、李阳健、赵志鹏、丁龙41软膜装粉设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511249406.82025-09-02CN121247171A2026-01-02张杭军、徐伟强、郑权、张广犬、孙成龙、冯徐鑫42滚磨方法及滚磨设备发明专利授权、公布CN202511178401.02025-08-21CN120663197B2025-10-21王金荣、朱亮、曹建伟、胡银纲、钟杨波43一种用于颗粒硅生产的连续脱氢设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511175390.02025-08-21CN121107415A2025-12-12曹建伟、朱亮、高宇、倪军夫、金天宝44一种切片机的切割方法和切片机发明专利授权CN202511121921.82025-08-12CN120606461B2025-11-11王金荣、朱亮、曹建伟、马立江、曹原45一种切片机的切割方法和切片机发明专利授权CN202511121925.62025-08-12CN120620491B2025-11-14王金荣、朱亮、曹建伟、马立江、曹原46一种切片机的切割方法、切片机以及切片系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511063934.42025-07-30CN120792000A2025-10-17王金荣、朱亮、曹建伟、牛彦齐47一种温控方法、系统以及流延装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511005611.X2025-07-21CN120686929A2025-09-23王金荣、曹建伟、朱亮、蒋俊康48一种晶圆修边方法、系统及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511001356.12025-07-21CN120696880A2025-09-26曹思明、孙菁阳、朱亮、王宁银、潘斌49一种晶圆加工补偿方法和装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510999482.42025-07-21CN120697196A2025-09-26曹思明、孙菁阳、朱亮、王宁银50一种晶圆加工的标定方法和装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511010197.12025-07-21CN120926913A2025-11-11孙菁阳、曹思明、朱亮、王宁银、潘斌