国家知识产权局信息显示,安徽禾臣新材料有限公司申请一项名为“一种平整度光掩膜基板的加工方法及系统”的专利,公开号CN122386574A,申请日期为2026年4月。
专利摘要显示,本发明公开了一种平整度光掩膜基板的加工方法及系统,涉及光掩膜基板加工技术领域,方法包括:对基板进行清洁后,通过激光干涉仪对基板表面进行形貌扫描,生成平坦度Map图;通过最小二乘法,对平坦度Map图中非边缘数据进行平面拟合,得到基板参考平面数据;基于平坦度Map图和基板参考平面数据,对基板与基板参考平面数据的偏差进行计算处理,收集偏差大于设置偏差阈值的平坦度Map图坐标,生成目标偏差点数据集合;本发明通过采集扫描基板得到Map图分析出基板的凸点,并计算出整平凸点需要施加的配重块质量,通过对凸点位置施加对应质量的配重块来进行力学校平,再通过回火定型消除应力的循环流程,防止对基板的消磨。
天眼查资料显示,安徽禾臣新材料有限公司,成立于2016年,位于马鞍山市,是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本6118.67万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽禾臣新材料有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目14次,财产线索方面有商标信息11条,专利信息213条,此外企业还拥有行政许可10个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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