国家知识产权局信息显示,浙江驰拓科技有限公司申请一项名为“半导体工艺测试器件及方法”的专利,公开号CN122341166A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明提供一种半导体工艺测试器件,包括:衬底,衬底具有MOS器件;其中,MOS器件的栅极用于与第一测试节点电连接,MOS器件的源极用于与第二测试节点电连接,MOS器件的体极用于与第三测试节点电连接;底部金属层,底部金属层设置在衬底上,底部金属层与MOS器件的漏极电连接;工艺测试阵列,工艺测试阵列设置在底部金属层上方;测试互连结构,测试互连结构设置在底部金属层上方,测试互连结构与工艺测试阵列间隔设置,测试互连结构与底部金属层电连接,测试互连结构用于与第四测试节点电连接。本发明能够对半导体器件的制备过程中所引起的PID效应对MOS器件的损伤进行测试,有助于半导体器件的工艺优化,改善半导体器件的性能。
天眼查资料显示,浙江驰拓科技有限公司,成立于2016年,位于杭州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本17714.088889万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江驰拓科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目100次,财产线索方面有商标信息14条,专利信息503条,此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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