北京
国家知识产权局信息显示，靖江佳晟真空技术有限公司取得一项名为“一种半导体用集成阀组”的专利，授权公告号CN224433497U，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种半导体用集成阀组，包括：阀体，阀体上具有若干个接口通道，一部分接口通道连通loadlock腔室和真空泵，一部分接口通道连通大气腔室，一部分接口通道连通传输腔室；两个真空压力开关，连接在接口通道上，用于检测接口通道与loadlock腔室连接处的气压；六个挡板阀，一对一连接在接口通道上，用于控制接口通道的通断；以及四个接头，一对一连接在接口通道上，接头为两个大气接头和两个检漏接头，大气接头与大气腔室连接；从而克服了平衡气压的效果差，结构复杂，不美观的技术问题。
天眼查资料显示，靖江佳晟真空技术有限公司，成立于2018年，位于泰州市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本3365.275296万人民币。通过天眼查大数据分析，靖江佳晟真空技术有限公司共对外投资了2家企业，财产线索方面有商标信息4条，专利信息73条，此外企业还拥有行政许可35个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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