北京
国家知识产权局信息显示，北京皓海嘉业机械科技有限公司申请一项名为“半导体设备外壳的表面缺陷在线检测方法”的专利，公开号CN122175978A，申请日期为2026年5月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体设备外壳的表面缺陷在线检测方法，属于半导体设备制造检测技术领域，解决了现有检测方法难以在金属高反光表面同时检测多种微小缺陷并获取缺陷三维几何参数的技术问题。该方法的要点包括：在传送线上移动的外壳进入检测工位时，同时触发明场、暗场和结构光三种光源模组，分别采集反射图像、散射图像和相位调制图像；从相位调制图像中解调出三维形貌数据生成高度图；将反射图像的颜色通道与高度图像素级配准构建多通道融合特征图；将该特征图输入多分支卷积神经网络，输出缺陷类别和几何参数。本发明通过多曝光融合或多模态插值补全策略，有效解决金属高反光导致的相位信息丢失问题，确保三维形貌重建的完整性。
天眼查资料显示，北京皓海嘉业机械科技有限公司，成立于2011年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本12500万人民币。通过天眼查大数据分析，北京皓海嘉业机械科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目19次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息16条，此外企业还拥有行政许可58个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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