国家知识产权局信息显示,ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“可变压力投配方法和系统”的专利,公开号CN121992380A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,公开了沉积材料的方法和用于沉积材料的系统。示例性方法包括在改变反应室内的压力的同时向衬底投配前体和/或反应物。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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