北京
国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种载片舟流转设备、基片处理系统和载片舟流转方法”的专利，公开号CN121985771A，申请日期为2026年2月。
专利摘要显示，本申请涉及半导体制造工艺技术领域，具体涉及一种载片舟流转设备、基片处理系统和载片舟流转方法，包括抓舟天车、至少一组载片舟流转组件，以及至少一个插接片组件，载片舟流转组件包括：沿X方向分布的桨结构、生料缓存区、冷却缓存区和输送机构，桨结构搭载载片舟沿Y方向进出基片处理设备的腔室，抓舟天车设置于载片舟流转组件的上方，将载片舟在桨结构、生料缓存区、冷却缓存区和输送机构之间转移；插接片组件在载片舟与花篮之间转移基片；输送机构将载片舟在抓舟天车运行轨迹与插接片组件之间转移。本申请中，抓舟天车配合载片舟流转组件中各部件沿X方向的规则排布，缩短载片舟的流转路径，提高流转效率，减少设备数量，降低设备成本。
天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本46115.7283万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目57次，财产线索方面有商标信息89条，专利信息638条，此外企业还拥有行政许可69个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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