北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“承载装置和半导体加工设备”的专利，公开号CN121969101A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本发明提供一种承载装置和半导体加工设备，该承载装置包括卡盘、导电基座和控制器，其中，导电基座设置于卡盘下方，控制器设置于导电基座下方且包括加热控制电路，卡盘中设置有至少一个加热元件；导电基座中贯通设置有至少一个第一导电馈入件，第一导电馈入件与导电基座电绝缘；加热控制电路的第一端通过各个第一导电馈入件分别与各个加热元件的第一端电连接；加热控制电路的第二端与导电基座的下表面电连接，各个加热元件的第二端与导电基座的上表面电连接。本方案可以提高基座的温度均匀性，降低承载装置的设计难度。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1411次，财产线索方面有商标信息73条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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