北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种静电卡盘、半导体工艺设备”的专利，公开号CN121969102A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本申请提供了一种静电卡盘、半导体工艺设备，包括：承载盘，用于承载晶圆；吸附电极，设置在承载盘上并用于吸附晶圆；加热器，设置在承载盘的底部并支撑承载盘，且与承载盘围成背吹空间；电压馈入结构，设置在加热器上并与吸附电极电连接；其中，电压馈入结构的隔离组件隔离电极组件和背吹空间，电压馈入结构的电极组件伸入到隔离组件的隔离内腔中并电连接吸附电极。此结构通过隔离组件隔离了背吹气体与电极组件，消除了背吹气体对电极组件的电压造成的影响和限制，能使电极组件馈入更大的电压，静电卡盘可以施加更大的吸附力以拉平晶圆。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1411次，财产线索方面有商标信息73条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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