韩媒唱衰:中国十年内搞不出EUV光刻机,但中国可能要造光刻工厂

韩媒唱衰：中国十年内搞不出EUV光刻机，但中国可能要造光刻工厂

韩国媒体断言，中国十年内搞不出EUV光刻机，这番论调近期引发不少关注，面对技术封锁与供应链限制，外界似乎认定中国在高端光刻机领域难有突破，可实际情况却暗藏转机

美国不断收紧光刻机相关禁令，从顶尖EUV设备扩至所有DUV浸没式光刻机，还要求荷兰等国协同执行、这让中国获取先进光刻设备得渠道被大幅压缩，韩媒的唱衰，正是基于这一现实困境

不过全球光刻机巨头ASML却流露担忧，其CEO称若将中国逼到绝境，中国可能研发出自主技术反哺西方、2026年第一季度，中国大陆市场占ASML销售额的比例，已从超三分之一骤降至19%，韩国取而代之成为其最大市场 。

制造EUV光刻机难度极高，单台设备包含超十万个精密零件，光源、镜头、双工件台等核心部件，分别依赖美、德、日等国的尖端技术，双工件台误差需控制在2纳米以内，堪比在沙粒上绘电路图!

但中国并非毫无进展，长春光机所造出国产极紫外光源样机，国望光学实现28nm浸润式镜头量产，正攻坚EUV光学系统，华卓精科更是跻身全球第二家掌握双工件台技术的企业

除了单机技术突破，中国还在探索替代路线，纳米压印光刻便是重要方向之一，这项技术靠机械压印复制微纳结构，规避传统光学光刻的分辨率极限，成本仅为沉浸式光刻的五分之一，能耗更是只有EUV光刻机的十分之一

纳米压印技术在存储芯片领域优势明显，美光科技已宣布支持相关设备，用来降低DRAM存储芯片制造成本，国内企业璞璘科技也研发出线宽小于10nm得纳米压印设备，已投入量产，可应用于存储芯片、硅基微显等领域 。

另一条路线是电子束光刻，浙江大学团队研发地“羲之”设备，精度达0.6nm，线宽8nm，已进入应用测试阶段，不过这两项技术在生产效率、兼容性上，和ASML的EUV光刻机仍有差距，暂无法完全替代

更具颠覆性的是“光刻机工厂”设想，清华大学团队提出地稳态微聚束原理，要构建大型EUV光源系统，通过传输系统分配给多个曝光终端，靠集中供能解决精密难题，这和ASML得单台设备集成思路截然不同

这种模式避开单机技术地专利壁垒，契合中国大型工程建设地优势，有点像汽车产业靠电动化体系实现弯道超车、不过它面临巨额投资和长周期挑战，短期内还没法落地，当下中国仍在深耕DUV光刻机及成熟制程，靠多重图形化、先进封装等技术弥补短板 .

其实比起纠结能不能造出EUV光刻机，更该关注的是技术路径地多样性、毕竟芯片制造的核心是满足需求，而非一定要复刻某一种设备模式，找到适合自身发展的路，才是破局关键!

有网友留言称：“ASML慌，中国光刻机工厂模式挺创新，能绕开壁垒吗、”这话问到点子上，创新模式能不能成，确实还得看后续的技术落地和产业链配合，但至少给行业提供新方向!

在我看来，外界唱衰亦好，巨头担忧亦罢，都说明中国半导体产业的突围已经触动现有格局、不管是单机技术攻坚，还是新路线探索，都是在一步步打破封锁，这种不服输的劲儿，才是最让人佩服的 。

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