奕斯伟材料、奕斯伟硅片申请晶圆检测法相关专利，对晶圆分区检测并关联分析数据关系

来源：新浪证券-红岸工作室

4月23日消息，国家知识产权局信息显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司、西安奕斯伟硅片技术有限公司申请一项名为“一种晶圆的检测方法、系统及介质”的专利。申请公布号为CN121908854A，申请号为CN202511859289.7，申请公布日期为2026年4月21日，申请日期为2025年12月10日，发明人史铁柱、庞鲁、王龙，专利代理机构西安维英格知识产权代理事务所（普通合伙），专利代理师沈寒酉、李斌栋，分类号H10P74/20、H10P74/00、G01R31/26。

专利摘要显示，本公开提供了一种晶圆的检测方法、系统及介质；该检测方法包括：将单张待测晶圆划分出至少两个区域；在至少两个区域中的第一区域执行第一检测流程，以获取第一区域的第一检测数据；在至少两个区域中的第二区域执行第二检测流程，以获取第二区域的第二检测数据；基于第一检测数据和第二检测数据进行关联分析，以获取第一检测数据与第二检测数据之间的对应关系。

西安奕材于2016年3月16日成立，2025年10月28日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均为陕西省西安市。该公司是国内领先的12英寸硅片制造商，具备先进生产技术与工艺，产品质量高，市场竞争力强。

西安奕材专注于12英寸硅片的研发、生产和销售，所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体材料，概念板块涵盖国家大基金持股、次新股、新股与次新股。

2025年，西安奕材营业收入26.49亿元，在17家同行中排名第3，高于行业平均数14.45亿元和中位数10.05亿元，但低于第一名江丰电子的46.04亿元和第二名沪硅产业的37.16亿元。主营业务中，测试片营收10.42亿元占比39.52%，抛光片9.84亿元占比37.33%，外延片6.1亿元占比23.14%，其中高端测试片4.61亿元占比17.48%。净利润方面，2025年为 - 7.38亿元，在17家同行中排名第16，低于行业平均数 - 4955.94万元和中位数6578.9万元，远低于第一名江丰电子的4.14亿元和第二名中船特气的3.46亿元。

西安奕斯伟材料科技股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1硅片刻蚀方法和硅片刻蚀设备发明专利公布CN202610079762.82026-01-21CN121865865A2026-04-14贾志怡2控制半导体单晶生长的方法、装置、及晶棒发明专利公布CN202512010297.02025-12-29CN121653837A2026-03-13杨文武、宁沛娜3拉晶工艺的功率控制方法、装置、设备及计算机存储介质发明专利公布CN202511996021.82025-12-26CN121675079A2026-03-17杨文武、宁沛娜4抛光头组件、化学机械抛光系统及晶圆的制备方法发明专利公布CN202511911677.52025-12-17CN121624982A2026-03-10王鹏、许涛、杨启5晶圆检测设备和晶圆检测方法发明专利公布CN202511904874.42025-12-17CN121678673A2026-03-17薛博涛、陈光林、刘玉乾、黄兆皓6线切割装置及线切割取样方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511899233.42025-12-16CN121403584A2026-01-27王晋飞7清洗设备、清洗方法、清洗装置、控制设备、产品及介质发明专利公布CN202511866027.32025-12-11CN121665982A2026-03-13张树星、陈海龙、夏新超、左斌8一种拉晶装置及拉晶方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511869249.02025-12-11CN121781273A2026-04-03闫龙、张鹏举、吴超、纪天平、李智超9热场调节装置、单晶炉和热场调节方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511856243.X2025-12-10CN121344772A2026-01-16黄文洋10一种籽晶倾斜检测方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511855413.22025-12-10CN121366283A2026-01-20彭标、孙洪涛11一种晶棒切割装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511858998.32025-12-10CN121572470A2026-02-27王磊磊、霍慧文、刘士靖、刘倩12一种砂轮参数确定方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511854835.82025-12-10CN121580854A2026-02-27李彤、兰洵、袁力军、李安杰、张婉婉13一种拉晶收尾的控制方法及系统发明专利公布CN202511858477.82025-12-10CN121826878A2026-04-10纪天平、彭标、闫龙14一种晶圆的检测方法、系统及介质发明专利公布CN202511859289.72025-12-10CN121908854A2026-04-21史铁柱、庞鲁、王龙15晶圆检测方法及相关装置发明专利公布CN202511837367.32025-12-08CN121665979A2026-03-13吕天爽16晶棒长度的确定方法、装置、介质及晶体生长系统发明专利公布CN202511840689.32025-12-08CN121874923A2026-04-17赵亮17一种单片清洗装置及方法发明专利公布CN202511840630.42025-12-08CN121888884A2026-04-17左斌、陈海龙、王颖、张树星、夏新超18硅片研磨的生产系统、控制方法和装置发明专利公布CN202511840651.62025-12-08CN121870626A2026-04-17王琛、张宁轩、黄兆皓19硅生长轴连接装置、硅生长系统及埚转偏差协同补偿方法发明专利公布CN202511840788.12025-12-08CN121874924A2026-04-17彭标、孙洪涛20单晶硅的拉晶控制方法、装置及相关设备发明专利公布CN202511826516.62025-12-05CN121538725A2026-02-17杨松、赵亮21绝缘体上硅衬底及其制备方法、射频绝缘体上硅晶圆发明专利公布CN202511830184.92025-12-05CN121908606A2026-04-21张博、兰洵、车宇航、王文娟、刘贵浩22晶圆的清洗方法、设备、以及晶圆发明专利实质审查的生效、公布CN202511815254.32025-12-04CN121604750A2026-03-03党快乐、兰洵23一种双面抛光方法、双面抛光设备及硅片发明专利公布CN202511817716.52025-12-04CN121870547A2026-04-17郭宏雁、陈祖庆24硅片切割线痕判定方法及装置、电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511772774.02025-11-28CN121374876A2026-01-23王黎昱、陈曦鹏25一种外延片边缘形貌补偿型晶圆双面抛光装置及方法发明专利公布CN202511770029.22025-11-28CN121535652A2026-02-17王俊夫26晶圆处理方法及装置、电子设备发明专利公布CN202511775486.02025-11-28CN121548286A2026-02-17张城旗、苏艳宁、王黎昱27晶圆检测与标识的设备、方法及介质发明专利公布CN202511775182.42025-11-28CN121865898A2026-04-14李乐杰、张钊、范东方、陈建勇28半导体晶圆及其制备方法发明专利公布CN202511779796.X2025-11-28CN121865669A2026-04-14刘贵浩、兰洵、车宇航、王文娟、张博29一种用于晶棒生长的控制装置、方法以及拉晶炉发明专利公布CN202511762453.22025-11-27CN121556142A2026-02-24蔡媛媛30化学机械抛光设备及抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511755819.32025-11-27CN121696842A2026-03-20王泽康31改善晶圆平坦度的方法、装置、设备、系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511766166.92025-11-27CN121756221A2026-03-31习恒32一种基于重力自适应限位的晶圆边缘刻蚀装置及方法发明专利公布CN202511761617.X2025-11-27CN121843479A2026-04-10郝宁、程辰辰33一种抛光垫及晶圆抛光方法发明专利公布CN202511766031.22025-11-27CN121821202A2026-04-10王俊夫、柴朝军34硅片线痕检测方法、装置、存储介质及电子设备发明专利公布CN202511767321.92025-11-27CN121888926A2026-04-17张申申35一种具有集成式温度补偿的双面抛光系统及方法发明专利公布CN202511755203.62025-11-26CN121552239A2026-02-24王俊夫36一种拉晶收尾控制方法、装置、设备及计算机存储介质发明专利公布CN202511755172.42025-11-26CN121629510A2026-03-10刘锦章37单晶硅棒的磨削控制方法、装置、存储介质及电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511759290.22025-11-26CN121733370A2026-03-27闫旭斌38晶圆生产的控制方法、装置、设备、系统及存储介质发明专利公布CN202511755100.X2025-11-26CN121865897A2026-04-14赵恒、范东方、陈建勇、张钊39一种晶圆的清洗控制方法、设备、晶圆及计算机存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511742590.X2025-11-25CN121620113A2026-03-06党快乐、兰洵40抛光设备、抛光方法、评估方法及抛光硅片发明专利公布CN202511744803.22025-11-25CN121798496A2026-04-07吕绍沈41加料装置、二次加料方法及单晶炉发明专利公布CN202511723278.62025-11-21CN121802535A2026-04-07代俊乐42确定硅片放置方向的方法、装置、设备及介质发明专利公布CN202511722852.62025-11-21CN121837362A2026-04-10李康康43硅片边缘抛光设备及方法、控制装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511711516.12025-11-20CN121223677A2025-12-30默玉海44参数监控方法及装置、电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511711413.52025-11-20CN121433159A2026-01-30王龙飞45一种包装袋折袋装置及方法发明专利公布CN202511711385.72025-11-20CN121536561A2026-02-17李毅波、苏建生、韩嘉豪、王奕杰46在双面抛光中抑制晶圆划伤的系统、方法及双面抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511711576.32025-11-20CN121589713A2026-03-03王俊夫47晶棒拉速的优化方法、装置、设备及计算机存储介质发明专利公布CN202511712015.52025-11-20CN121903418A2026-04-21秦浩、庞鲁、王龙、同嘉锡48层叠结构及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511683488.72025-11-17CN121586393A2026-02-27刘贵浩、兰洵、车宇航、王文娟、张博49一种清洗装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511659712.92025-11-13CN121468400A2026-02-06蔡培锋、周勤学50一种调整双面抛光设备参数的方法、装置和介质发明专利公布CN202511664476.X2025-11-13CN121832444A2026-04-10王俊夫、周勤学、王龙飞、杨轩、马驰

天眼查数据显示，西安奕斯伟硅片技术有限公司成立日期2018年2月9日，法定代表人刘还平，所属行业为计算机、通信和其他电子设备制造业，企业规模为中型，注册资本660000万人民币，实缴资本660000万人民币，注册地址为陕西省西安市高新区西沣南路1888号。西安奕斯伟硅片技术有限公司共对外投资了0家企业，参与招投标项目379次，财产线索方面有商标信息0条，专利信息1057条，拥有行政许可54个。

西安奕斯伟硅片技术有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1晶圆检测设备和晶圆检测方法发明专利公布CN202511904874.42025-12-17CN121678673A2026-03-17薛博涛、陈光林、刘玉乾、黄兆皓2一种拉晶装置及拉晶方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511869249.02025-12-11CN121781273A2026-04-03闫龙、张鹏举、吴超、纪天平、李智超3热场调节装置、单晶炉和热场调节方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511856243.X2025-12-10CN121344772A2026-01-16黄文洋4一种晶棒切割装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511858998.32025-12-10CN121572470A2026-02-27王磊磊、霍慧文、刘士靖、刘倩5一种拉晶收尾的控制方法及系统发明专利公布CN202511858477.82025-12-10CN121826878A2026-04-10纪天平、彭标、闫龙6一种晶圆的检测方法、系统及介质发明专利公布CN202511859289.72025-12-10CN121908854A2026-04-21史铁柱、庞鲁、王龙7硅片研磨的生产系统、控制方法和装置发明专利公布CN202511840651.62025-12-08CN121870626A2026-04-17王琛、张宁轩、黄兆皓8一种外延片边缘形貌补偿型晶圆双面抛光装置及方法发明专利公布CN202511770029.22025-11-28CN121535652A2026-02-17王俊夫9晶圆检测与标识的设备、方法及介质发明专利公布CN202511775182.42025-11-28CN121865898A2026-04-14李乐杰、张钊、范东方、陈建勇10一种基于重力自适应限位的晶圆边缘刻蚀装置及方法发明专利公布CN202511761617.X2025-11-27CN121843479A2026-04-10郝宁、程辰辰11一种抛光垫及晶圆抛光方法发明专利公布CN202511766031.22025-11-27CN121821202A2026-04-10王俊夫、柴朝军12硅片线痕检测方法、装置、存储介质及电子设备发明专利公布CN202511767321.92025-11-27CN121888926A2026-04-17张申申13一种具有集成式温度补偿的双面抛光系统及方法发明专利公布CN202511755203.62025-11-26CN121552239A2026-02-24王俊夫14晶圆生产的控制方法、装置、设备、系统及存储介质发明专利公布CN202511755100.X2025-11-26CN121865897A2026-04-14赵恒、范东方、陈建勇、张钊15确定硅片放置方向的方法、装置、设备及介质发明专利公布CN202511722852.62025-11-21CN121837362A2026-04-10李康康16一种包装袋折袋装置及方法发明专利公布CN202511711385.72025-11-20CN121536561A2026-02-17李毅波、苏建生、韩嘉豪、王奕杰17在双面抛光中抑制晶圆划伤的系统、方法及双面抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511711576.32025-11-20CN121589713A2026-03-03王俊夫18晶棒拉速的优化方法、装置、设备及计算机存储介质发明专利公布CN202511712015.52025-11-20CN121903418A2026-04-21秦浩、庞鲁、王龙、同嘉锡19一种清洗装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511659712.92025-11-13CN121468400A2026-02-06蔡培锋、周勤学20一种调整双面抛光设备参数的方法、装置和介质发明专利公布CN202511664476.X2025-11-13CN121832444A2026-04-10王俊夫、周勤学、王龙飞、杨轩、马驰21用于检测物体表面缺陷的方法、装置、系统及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511655376.02025-11-12CN121740778A2026-03-27付子成、党志伟22用于抛光载盘的预清洗装置、自适应抛光系统及清洗方法发明专利公布CN202511645965.02025-11-11CN121821244A2026-04-10王俊夫23改善抛光垫平坦度的方法、双面抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511602298.82025-11-04CN121132500A2025-12-16杨轩、柴朝军、马驰、王俊夫、邢东24工艺腔室的判定方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511592258.X2025-11-03CN121443034A2026-01-30孙毅、韩喜盈25用于抛光垫的检测及清洗装置、方法及抛光设备发明专利公布CN202511551473.52025-10-28CN121670508A2026-03-17马驰、杨轩、王俊夫26校准系统及校准方法发明专利公布CN202511515728.22025-10-22CN121666003A2026-03-13杨舒乐27硅片处理装置及方法发明专利公布CN202511499502.82025-10-20CN121665970A2026-03-13郭宏雁、郝胤祚、马成琛、冯智、赵栋、贾晓东28研磨盘的平坦度测量装置及研磨盘的平坦度测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511479663.02025-10-16CN121083517A2025-12-09樊明溪、孙介楠、李龙、张鑫29一种硅片加工方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511480666.62025-10-16CN121310863A2026-01-09蔡培锋、周勤学30砂轮修整设备、砂轮修整方法、装置、设备、产品及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511418705.X2025-09-30CN121104902A2025-12-12朱海海31抛光垫清洗装置及抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511425890.52025-09-30CN121267779A2026-01-06王俊夫、马驰、杨轩32一种硅片缺陷检测方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511418677.12025-09-30CN121358253A2026-01-16史铁柱、庞鲁、王龙、贺鹏、原宇乐33晶圆的金属水平检测方法、装置、设备及计算机存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511426097.72025-09-30CN121510933A2026-02-10高坤、林可、李康康34一种用于检测薄膜沉积异常的装置和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511347420.12025-09-19CN121443032A2026-01-30程辰辰、郝宁35硅片边缘刻蚀装置和硅片边缘刻蚀方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511297217.82025-09-11CN121149050A2025-12-16贾帅、王力36外延反应腔室恢复方法和外延生长装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511274241.X2025-09-08CN121137798A2025-12-16韩喜盈、张海博、金柱炫、孙毅、刘凯37晶圆加工设备的状态检测方法、装置、设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511219751.72025-08-28CN121275374A2026-01-06李昊、刘永亮、胡斌38一种外延生长设备和外延生长方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511206362.02025-08-27CN121250545A2026-01-02马成琛、郭盾、贾晓东、郝胤祚39一种拦截策略确定方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511189436.42025-08-25CN121051383A2025-12-02马强强、万珣40一种标签检测方法、装置、设备及计算机存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511111982.62025-08-08CN121190956A2025-12-23叶森、冯智、郭盾、赵栋、郝胤祚41晶圆的处理方法及装置、电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511102765.02025-08-07CN120854308A2025-10-28杨震、王雷、王琳42用于晶圆收纳盒的净化装置及晶圆收纳盒组件发明专利实质审查的生效、公布CN202511092282.72025-08-05CN121130583A2025-12-16赵栋、叶森、郝胤祚、冯智43一种硅片处理方法、装置、处理设备、程序产品及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510965838.22025-07-14CN120895461A2025-11-04郭宏雁、陈光林、周伟、张立易、周国庆44双面研磨装置和双面研磨方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510863147.12025-06-25CN120461314A2025-08-12郭宏雁、王俊夫45晶圆干燥装置及方法、控制装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510863016.32025-06-25CN120690723A2025-09-23贾晓东46阻尼手指的调整方法及装置、晶圆平坦度检测装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510863146.72025-06-25CN120701698A2025-09-26李宇卓47晶圆检测设备及晶圆检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510863105.82025-06-25CN120895487A2025-11-04郭宏雁、杨轩、胡文龙、王俊夫、马驰48一种硅片边缘应力指标确定方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510848864.72025-06-24CN120690705A2025-09-23苏博文、齐凌博49硅片运输装置及硅片运输方法、存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510849509.12025-06-24CN120709210A2025-09-26卢龙龙50物料搬运控制方法和物料搬运系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510849275.02025-06-24CN120709209A2025-09-26王允斌、陈建勇、任瑞明、张钊、何江博

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