北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种圆心偏差确定方法和半导体工艺设备”的专利，公开号CN121881598A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明实施例提供了一种圆心偏差确定方法，该方法包括：解析工艺日志文件，得到晶圆基准圆心、静电卡盘的各同心圆凸点环的半径和坐标集；基于晶圆基准圆心和静电卡盘各同心圆凸点环的半径中最外层凸点圆半径，确定静电卡盘的初始圆心；根据环带阈值，将坐标集中的各个点归类到对应的同心圆凸点环中，得到多个分类点集；环带阈值是基于初始圆心和各同心圆凸点环的半径，为每个同心圆凸点环确定的；对每个分类点集进行拟合，得到静电卡盘的输出圆心；根据输出圆心与晶圆基准圆心，确定静电卡盘相对于晶圆的圆心偏差值。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1404次，财产线索方面有商标信息73条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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