半导体设备龙头ASML发布26年一季度财报，EUV业务强劲，科创芯片ETF国泰(589100)涨0.70%

截至2026年4月17日14:54，上证科创板芯片指数(000685)上涨0.76%，成分股源杰科技上涨9.52%，仕佳光子上涨8.76%，纳芯微上涨4.54%，天岳先进上涨3.79%，芯动联科上涨3.37%。科创芯片ETF国泰(589100)上涨0.70%，最新价报1.73元。

流动性方面，科创芯片ETF国泰盘中换手3.47%，成交1961.97万元。拉长时间看，截至4月16日，科创芯片ETF国泰近1周日均成交2668.60万元。

消息面上，近期，全球半导体设备龙头ASML发布2026年一季度财报，显示EUV业务持续强劲，Q1EUV机台收入同比增长28.9%，占比提升至66%；公司同步上调非EUV业务预期，并明确2026年将年产至少60台Low-NAEUV，2027年扩产至80台以上。产能爬坡节奏加快，叠加NXE:3800F系统晶圆处理能力升级及2027年批量交付计划落地，反映先进制程设备需求正从订单端加速向产能端兑现。

分析人士称，AI算力驱动下，全球半导体景气持续上行，晶圆厂资本开支与稼动率维持高位，带动半导体材料进入结构性“工艺通胀”阶段。在先进逻辑、HBM及3DNAND等高复杂度工艺中，CMP抛光步骤、靶材单片消耗量、光刻胶单位晶圆用量、刻蚀与清洗步骤均显著增加，部分环节呈现单片用量上升、品类数增加与价格抬升的复合通胀特征，相关材料环节增长弹性明显强于行业平均。同时，国产替代进程加速，光刻胶、湿电子化学品、CMP材料及靶材等关键品类验证节奏加快，供应链安全重估正实质性提升本土材料导入意愿。

截至4月16日，科创芯片ETF国泰近6月净值上涨11.66%，居可比基金前3。从收益能力看，截至2026年4月16日，科创芯片ETF国泰自成立以来，最高单月回报为34.67%，最长连涨月数为4个月，最长连涨涨幅为72.96%，涨跌月数比为7/5，上涨月份平均收益率为12.17%，历史持有1年盈利概率为100.00%。

数据显示，截至2026年3月31日，上证科创板芯片指数(000685)前十大权重股分别为中芯国际、海光信息、寒武纪、澜起科技、中微公司、芯原股份、佰维存储、拓荆科技、源杰科技、华虹公司，前十大权重股合计占比60.99%。

科创芯片ETF国泰(589100)，场外联接(国泰上证科创板芯片ETF发起联接A：024853；国泰上证科创板芯片ETF发起联接C：024854)。

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