国家知识产权局信息显示,通快霍廷格有限责任公司申请一项名为“向等离子体处理装置供应高功率脉冲的高功率发生器、脉冲设备和方法”的专利,公开号CN121866644A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,一种高功率(HP)发生器(10)被配置成向脉冲单元(3)输送具有高电压值和/或高电流值的高功率,其中,脉冲单元(3)被配置成向电容性负载、特别地向等离子体处理装置输送具有高电压值和/或高电流的脉冲高功率,其中脉冲高持续时间为10µs或更少并且脉冲低持续时间为10µs或更少,HP发生器(10)包括:‑控制输入部(11),该控制输入部被配置成与来自外部脉冲控制装置(9)的控制信号连接,其中,脉冲控制装置(9)还控制脉冲单元(3)的脉冲高持续时间和脉冲低持续时间,‑控制单元(22),该控制单元被配置成响应于控制输入部(11)处的信号来调节HP发生器(10)的输出,以使得HP发生器(10)的输出电压和/或电流能够在脉冲单元(3)的输出部处的脉冲的脉冲低持续时间期间改变,并且在该脉冲的随后的脉冲高持续时间期间恒定。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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