北京
国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“抛光装置和晶圆加工设备”的专利，公开号CN121848277A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本申请提供一种抛光装置和晶圆加工设备。抛光装置包括：顺时针成环形阵列的第一抛光盘、第一交互杯、第二交互杯、第二抛光盘、第三交互杯；吊装至环形轨道的第一承载头、第二承载头和第三承载头，其能够独立沿环形轨道移动以与三个交互杯之一交互或在两个抛光盘之一上执行晶圆抛光；环形轨道的水平投影经过三个交互杯的圆心，且两个抛光盘的圆心处于环形轨道的径向外侧；任一承载头在任一抛光盘上进行抛光时，在承载头沿环形轨道摆动的过程中，承载头与抛光盘的圆心距设置成使得抛光盘对承载头的摩擦力与该摩擦力沿环形轨道切向的分量之间的夹角在0‑20度之间变化，以降低该摩擦力沿环形轨道径向的分量导致的环形轨道磨损或变形。
天眼查资料显示，华海清科股份有限公司，成立于2013年，位于天津市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本35365.1991万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目259次，财产线索方面有商标信息68条，专利信息792条，此外企业还拥有行政许可31个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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