北京
国家知识产权局信息显示，青岛金汇源电子有限公司申请一项名为“一种晶圆高温退火设备”的专利，公开号CN121843465A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体器件加工领域，具体是涉及一种晶圆高温退火设备。该设备包括退火炉，退火炉内滑动设有承载三个热源的抽拉台，抽拉台设有两排上下对称的载台，上方载台通过定位架的起落机构连接定位架。载台内部通过两个隔环分隔为三个独立供气环形气腔，两载台相对侧固连三个不同直径托环，托环内侧设与热源相连的加热环，加热环内外侧设有与环形气腔连通的气管。本设备运行时，调节载台间距后放置晶圆并推入退火炉，下方载台三腔供气形成气膜托举晶圆悬浮，热源驱动加热环双向包裹加热，通过气压与功率适配保障温度均匀性。退火后经余热缓冷与气流辅助冷却完成阶梯冷却，实现高精度退火加工，解决现有设备温度不均、热传导过度等问题。
天眼查资料显示，青岛金汇源电子有限公司，成立于2001年，位于青岛市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本600万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛金汇源电子有限公司参与招投标项目16次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息59条，此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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