北京
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国家知识产权局信息显示，科磊股份有限公司申请一项名为“使用多个卡盘及光学柱进行大规模测量取样”的专利，公开号CN121844199A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，一种测量系统可包含两组或更多组光学子系统以同时产生关于两个或更多个样本的测量数据；粗略平移载台，其提供沿着平面的运动；两个或更多个精细平移载台，其安置在所述粗略平移载台上，以与所述两组或更多组光学子系统共同的模式布置，其中所述精细平移载台中的每一者提供沿着所述平面的运动且经布置以将所述两个或更多个样本中的一者定位在所述两组或更多组光学子系统中的一者下方。所述系统可进一步包含控制器以独立地引导所述精细平移载台中的每一者及所述光学子系统中的相关联一者以产生相应样本的测量数据，且基于所述相关联测量数据产生所述样本的一或多个测量。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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