北京
国家知识产权局信息显示，广东先导稀材股份有限公司申请一项名为“一种磁控溅射设备布气装置”的专利，公开号CN121826619A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，提供了一种磁控溅射设备布气装置，包括第一布气单元和第二布气单元；第一布气单元和第二布气单元为镜像结构并对称布置在基片的两侧；第一布气单元、第二布气单元均包括第一布气管和第二布气管；第一布气管设有多个连接管；连接管的一端与第一布气管连通，连接管的另一端与第二布气管连通；第二布气管设有多个开口；第一布气管为多个并间隔布置；第二布气管为多个并间隔布置，且靠近基片中部的第二布气管与基片的间距大于位于基片两侧的第二布气管与基片的间距。此布气装置整体呈对称结构，有利于对反应腔体均匀布气，提高各处的质量流量的均匀性，进而满足工艺需求，特别是对大面积的磁控溅射具有指导意义。
天眼查资料显示，广东先导稀材股份有限公司，成立于2003年，位于清远市，是一家以从事有色金属冶炼和压延加工业为主的企业。企业注册资本37676.6226万人民币。通过天眼查大数据分析，广东先导稀材股份有限公司共对外投资了56家企业，参与招投标项目48次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息329条，此外企业还拥有行政许可350个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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