北京
来源：市场资讯
（来源：君实财经）
中微公司：薄膜设备高速增长，平台化战略加速落地
#核心数据：2025年全年实现营业收入123.85亿元，同比+36.62%。扣非归母净利润15.5亿元，同比+11.64%。其中，2025年刻蚀设备收入98.32亿元，同比+35.12%；薄膜沉积设备（LPCVD）收入5.06亿元，同比+224.23%。高研发投入支撑远期成长，2025年公司全年研发投入37.44亿元，同比+52.65%，占总营收的30.23%。
#刻蚀设备可覆盖至尖端制程，#高深宽比刻蚀设备进入批量生产阶段。刻蚀设备覆盖从65nm到3nm制程，60：1高深宽比设备在存储场景大批量生产。截至2025年底，公司刻蚀设备反应台全球出货量超6800台。
#公司平台化加速，#”刻蚀+薄膜+湿法设备+量检测设备“平台化布局逐渐成型。2025年，公司薄膜设备营收同比大增224.23%。CVD W，极高深宽比HAR W和ALD W沉积设备在国内存储客户实现批量销售。金属薄膜沉积设备累计出货量超三百个。公司通过投资和成立子公司，全面布局了量检测设备板块，子公司超微公司引入多名国际顶尖的电子束量检测设备领域专家和领军人才。2025年底，公司收购众硅，填补了公司在湿法设备领域的空白
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