北京
国家知识产权局信息显示，浙江晶盛机电股份有限公司申请一项名为“一种抛光载体及飞片检测方法”的专利，公开号CN121715973A，申请日期为2022年12月。
专利摘要显示，本申请涉及半导体抛光技术领域，尤其涉及一种抛光载体和飞片检测方法，抛光载体包括：载体本体，所述载体本体包括叠置的第一座和第二座，所述第二座用于承载待抛片；检测部，设置于所述第二座上，并位于所述第一座所罩设范围的外侧；以及检测组件，所述检测组件包括激光传感器，设置于所述载体本体的外侧，并位于所述检测部的上方，用于监测所述检测部在垂直于所述待抛片所在平面方向上的位移变化。解决了抛光过程中无法对飞片情况的准确识别和及时应对的技术问题，达到对飞片情况的准确识别和及时应对的技术效果。
天眼查资料显示，浙江晶盛机电股份有限公司，成立于2006年，位于绍兴市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本130953.3797万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了37家企业，参与招投标项目223次，财产线索方面有商标信息71条，专利信息1147条，此外企业还拥有行政许可40个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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