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嘉兴一家半导体设备公司获得融资,冯源资本领投!

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3月13日,投融湾团队了解到嘉兴地区新增一家融资成功的企业,来自嘉兴桐乡市。

该企业名为浙江阿派斯特半导体装备有限公司(下文简称:阿派斯特),成立于2025年7月,这是一家主要研发、生产半导体湿电子化学品核心生产工艺设备的科技公司。

阿派斯特总部位于嘉兴,不过在上海建有研发中心,生产基地则位于嘉兴,形成了研发、中试、量产体系。公司核心团队成员在湿电子化学品工艺装备和流体系统领域深耕多年,具备从研发到交付的全流程能力。

公司主要技术包括:超纯净化技术、高精度混配技术、高纯合成工艺、流体系统洁净控制、自动化与智能化等。其中,公司的超纯净化技术通过融合多级精馏、离子交换、膜分离和吸附耦合技术等,去除掉其中的金属离子、有机物和颗粒等,净化纯度达G5级别。另外,公司的高精度混配技术通过微流量控制,在线监测、闭环反馈,能够将配比精度控制在0.1%之内。



公司的主要产品为高纯纯化工艺系统、高纯混配(复配)工艺系统、高纯合成工艺系统、配套辅助系统等。其中,高纯纯化工艺系统具有多级纯化功能,杂质去除可以达到ppb级别,可以满足半导体的先进制程要求。可以用来产出G4/G5级氢氟酸、硫酸、盐酸、电子级硝酸以及G3/G5级双氧水,可用于纯化光刻胶原料、清洗液、刻蚀液、抛光液等高纯化学品。

公司的高纯混配(复配)工艺系统可实现湿电子化学品精准复配、除粒子过滤、罐装一体化。主要特点是污染低、配比精准、批次稳定、自动化控制。覆盖了光刻胶、刻蚀液、清洗液、显影液、剥离液、抛光液、电镀液、保护液等品类。

近日,公司官宣获得首轮融资,冯源资本领投,国泰君安创新投跟投。

从市场空间上来看,2025-2030年湿电子化学品市场规模的年复合增长率超20%,对应的市场规模也超过了50亿元,目前国内高端装备国产化率不足20%,公司又是国内少有的专注湿电子化学品全流程工艺装备的公司,国产替代进程带来较大机会。





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