北京
国家知识产权局信息显示，蓝河科技（绍兴）有限公司取得一项名为“一种承载装置及气相反应装置”的专利，授权公告号CN223974198U，申请日期为2025年4月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种承载装置及气相反应装置，承载装置设置有若干用于承载基片的凹穴，凹穴的边部开设有弧形槽，当基片放置在凹穴的承载面上时，基片的部分边部悬空于弧形槽的上方，可以在减少凹穴侧壁对基片边部温度过热的不利影响。同一周向的各凹穴构成一凹穴组，凹穴组的数量至少为2，各凹穴的边部承载面绕同一旋向排布，同一凹穴组的相邻所述凹穴中，一所述凹穴的弧形槽位于该所述凹穴的内部承载面和另一所述凹穴的边部承载面之间，各所述凹穴组的占空比的占空比为50％～75％，能够一定程度压缩凹穴100附近的非承载表面的面积以最大程度减小被承载装置所加热的工艺气体对基片温度均匀性的不利影响。
天眼查资料显示，蓝河科技（绍兴）有限公司，成立于2020年，位于绍兴市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本431.028538万人民币。通过天眼查大数据分析，蓝河科技（绍兴）有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息50条。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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