国家知识产权局信息显示,腾讯科技(深圳)有限公司申请一项名为“电子束光刻剂量分布的确定方法、装置、设备及存储介质”的专利,公开号CN121596678A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本申请公开了一种电子束光刻剂量分布的确定方法、装置、设备及存储介质,涉及计算机技术和半导体制造领域。该方法由GPU执行,包括:通过电子束光刻物理模型,根据电子束光刻的剂量分布,计算得到预测成像图像;基于预测成像图像和目标成像图像,计算成像损失函数关于剂量分布的梯度,其中,成像损失函数用于表征预测成像图像和目标成像图像之间的差异;基于成像损失函数关于剂量分布的梯度,更新剂量分布,得到更新后的剂量分布。该方法显著减少了电子束光刻物理模型模拟电子束光刻过程的计算耗时,以及确定电子束光刻的剂量分布的整个流程的计算耗时,从而提高了确定电子束光刻的剂量分布的效率。
天眼查资料显示,腾讯科技(深圳)有限公司,成立于2000年,位于深圳市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本200万美元。通过天眼查大数据分析,腾讯科技(深圳)有限公司共对外投资了15家企业,参与招投标项目285次,财产线索方面有商标信息5000条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可574个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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