国家知识产权局信息显示,上海立伟佳机械有限公司取得一项名为“一种半导体抛光用转台工装”的专利,授权公告号CN223961126U,申请日期为2025年4月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种半导体抛光用转台工装,包括装置本体,装置本体包括底座、安装柜、固定装置和抛光装置,安装柜安装底座顶部,固定装置和抛光装置均安装在安装柜顶部;固定装置包括固定盘、吸附盘和吸附泵体,固定盘顶部设有若干组呈环状等距方式分布的小管道,固定盘底部设有主管道,若干组小管道分别与主管道相连接,主管道底端与吸附泵体相连接,吸附盘底部设有下连接管,吸附盘底部通过下连接管安装在小管道顶部,吸附盘顶部设有减震罩,减震罩顶部设有贴合环。该种装置可以有效的对半导体晶圆进行吸附、固定,从而来提高半导体晶圆在加工时的稳定性,防止晶圆在加工时出现移位、飞出的情况发生。
天眼查资料显示,上海立伟佳机械有限公司,成立于2022年,位于上海市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,上海立伟佳机械有限公司专利信息4条。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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