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案例:电子行业含氯废气处理项目
项目背景
华东地区某集成电路板生产企业,在生产过程中使用蚀刻液(主要成分为氯化铁、盐酸)进行电路板加工,产生大量含氯废气。该企业原有简易碱液喷淋装置无法满足新实施的《大气污染物综合排放标准》要求,需进行技术改造。
废气成分及来源
废气主要来源于蚀刻工序挥发的氯化氢(HCl)气体,浓度波动较大(800-2500mg/m³),同时含有微量氯气(Cl₂)及有机溶剂挥发物。废气温度为常温,湿度较高(60%-80%),气量稳定在12000m³/h。
处理工艺流程
采用"两级碱液喷淋吸收+活性炭吸附"组合工艺:
预处理段
:废气先经PP材质旋风除尘器去除颗粒物
一级喷淋塔
:配置20%氢氧化钠溶液,pH值控制在10-12,去除90%以上HCl
二级喷淋塔
:采用5%次氯酸钠溶液氧化残余Cl₂,同时补充NaOH维持pH
深度处理
:经除雾器后进入活性炭吸附塔,去除残留有机物
在线监测
:出口安装HCl、Cl₂浓度实时监测系统
关键设备参数:喷淋塔空塔流速1.2m/s,液气比8L/m³,活性炭更换周期6个月。
最终效果
处理后废气中HCl浓度<5mg/m³,Cl₂浓度<1mg/m³,远低于国家标准限值(HCl≤30mg/m³,Cl₂≤10mg/m³)。系统运行稳定,年处理费用约35万元,较原系统效率提升85%。
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