国家知识产权局信息显示,重庆芯联微电子有限公司申请一项名为“基于分片密度配置误差反馈系数的光学邻近校正方法”的专利,公开号CN121559804A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明提供基于分片密度配置误差反馈系数的光学邻近校正方法,包括以下步骤:S1.将待修正的芯片版图划分为多个独立的分片单元;S2.计算每个分片单元的图案密度,根据图案密度对分片单元进行分级,得到至少两个密度等级;S3.为不同密度等级的分片单元分别配置对应的误差反馈系数,图案密度越高的分片单元的误差反馈系数的绝对值越小;S4.对各分片单元执行迭代校正,在迭代校正时,基于各分片单元的误差值和对应的误差反馈系数,计算每个分片单元的图案调整量,调整量=误差值×误差反馈系数;S5.根据调整量对各分片单元执行迭代校正,完成芯片版图的校正。实现了高密度区域精细修正、低密度区域快速收敛,进而提升OPC整体修正精度与效率的技术效果。
天眼查资料显示,重庆芯联微电子有限公司,成立于2023年,位于重庆市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本870000万人民币。通过天眼查大数据分析,重庆芯联微电子有限公司参与招投标项目937次,专利信息242条,此外企业还拥有行政许可12个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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