北京
国家知识产权局信息显示，上瓷时代（绍兴）新材料科技有限公司申请一项名为“一种高性能耐等离子体刻蚀氧化钇陶瓷材料”的专利，公开号CN121517212A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体装备用先进陶瓷材料技术领域，具体公开了一种高性能耐等离子体刻蚀氧化钇陶瓷材料，本发明技术方案中，以六水合硝酸钇为原料，通过构建多羧酸‑醇骨架、含氟与硅烷接枝结构及膦酸强配位结构的多功能改性调控剂，实现对氧化钇粉体成核与晶体生长的精准调控；通过调节改性调控剂与六水合硝酸钇的摩尔比，可获得不同形貌粉体；经球磨、模压与烧结后，可制得高致密度、细晶粒的氧化钇陶瓷，其在氟基等离子体环境下表现出更低的刻蚀速率与更优的表面稳定性，显著提升耐等离子体刻蚀性。
天眼查资料显示，上瓷时代（绍兴）新材料科技有限公司，成立于2024年，位于绍兴市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，上瓷时代（绍兴）新材料科技有限公司参与招投标项目2次，专利信息2条。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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