国家知识产权局信息显示,芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司申请一项名为“半导体材料的氧化处理方法及半导体结构”的专利,公开号CN121510870A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本申请提供一种半导体材料的氧化处理方法及半导体结构;所述氧化处理方法包括:实施原位水汽生成工艺,所述原位水汽生成工艺通过向反应腔内输入反应气体,对所述半导体材料进行氧化处理;在所述原位水汽生成工艺过程中,使所述反应腔内的压力在第一压力P1和第二压力P2之间交替循环,其中所述第一压力P1大于所述第二压力P2;所述半导体结构包含栅极氧化层,所述栅极氧化层通过所述氧化处理方法处理而成。本申请既可改善膜厚均匀性,还能确保套刻精度。
天眼查资料显示,芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司,成立于2021年,位于绍兴市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1329244.16万人民币。通过天眼查大数据分析,芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目70次,专利信息118条,此外企业还拥有行政许可24个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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