北京
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国家知识产权局信息显示，上海新毅东半导体科技有限公司申请一项名为“光刻机的晶圆对准物镜和晶圆对准系统”的专利，公开号CN121500685A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，提供了一种光刻机的晶圆对准物镜和晶圆对准系统。该光刻机的晶圆对准物镜包括：从物面到像面依次排列的第一镜组和第二镜组，所述第一镜组为负透镜组，且所述第二镜组为正透镜组；以及，孔径光阑，位于所述第一镜组朝向物面的一侧。这样，通过镜组和孔径光阑的结构设计，可以减小晶圆对准系统中照明模块和管镜模块的口径，并增强晶圆对准系统的对准精度。
天眼查资料显示，上海新毅东半导体科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海新毅东半导体科技有限公司参与招投标项目1次，专利信息29条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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