国家知识产权局信息显示,南京屹立芯创半导体科技有限公司取得一项名为“除泡设备”的专利,授权公告号CN223899623U,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本申请涉及半导体技术领域,具体公开一种除泡设备,包括除泡腔室、第一真空系统、第二真空系统及第一切换单元。第一真空系统用于为除泡腔室提供负压;第二真空系统用于为除泡腔室提供负压;第一切换单元设置于第一真空系统、第二真空系统与除泡腔室的连接管路中,当第一切换单元处于第一切换状态时,第一真空系统连接至除泡腔室,第二真空系统与除泡腔室之间的连接断开,当第一切换单元处于第二切换状态时,第二真空系统连接至除泡腔室,第一真空系统与除泡腔室之间的连接断开。通过第一真空系统、第二真空系统以及第一切换单元的配合,能够在其中一个真空系统出现故障时,无缝切换使用另一个真空系统,无需中断除泡设备,确保晶圆不会报废。
天眼查资料显示,南京屹立芯创半导体科技有限公司,成立于2021年,位于南京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1476.8042万人民币。通过天眼查大数据分析,南京屹立芯创半导体科技有限公司参与招投标项目15次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息68条,此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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