北京
国家知识产权局信息显示，有研亿金新材料有限公司;有研亿金新材料（山东）有限公司申请一项名为“翻新静电卡盘的表面结构、抛光处理设备及静电卡盘的翻新方法”的专利，公开号CN121468370A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种翻新静电卡盘的表面结构、抛光处理设备及静电卡盘的翻新方法，翻新静电卡盘的表面结构包括翻新后的陶瓷基体和分布于陶瓷基体表面的多个凸点，对使用后的静电卡盘进行基体清洁与平整化处理，对凸点进行磨抛，将原有磨损的非球面凸点加工成特定曲率半径的球面结构。凸点消除了非球面凸点在棱角处易产生的电荷集中现象，使静电场分布更均匀，从而极大地提升晶圆吸附力的稳定性；球面接触将凸点与晶圆的接触方式从面接触变为点接触，有效减小接触面积，为晶圆背面的冷却气体提供更流畅的通道，显著改善静电卡盘的均温性与控温效率，使翻新后的静电卡盘在吸附力与热传导性能上得以恢复甚至超越初始水平。
天眼查资料显示，有研亿金新材料有限公司，成立于2000年，位于北京市，是一家以从事金属制品业为主的企业。企业注册资本89681.828044万人民币。通过天眼查大数据分析，有研亿金新材料有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目186次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息298条，此外企业还拥有行政许可51个。
有研亿金新材料（山东）有限公司，成立于2021年，位于德州市，是一家以从事有色金属冶炼和压延加工业为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析，有研亿金新材料（山东）有限公司参与招投标项目113次，专利信息78条，此外企业还拥有行政许可27个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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