北京
国家知识产权局信息显示，寰采星科技（宁波）有限公司申请一项名为“一种曝光方法及曝光设备”的专利，公开号CN121477554A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种曝光方法及曝光设备，涉及半导体技术领域，曝光方法包括：在基材的两侧设置光罩，两侧的光罩贴合基材以形成封闭区域；对封闭区域抽真空处理，使真空度满足曝光处理的要求；对基材进行试曝光，得到试曝光图案；检测试曝光图案的位置偏差数据，计算对基材的调节参数B和调节参数F；根据调节参数对基材进行调节，对基材进行连续曝光；其中，曝光方法通过曝光设备执行，曝光设备包括用于传送基材的送料装置，送料装置通过平衡机构调节基材宽度方向的平衡，调节参数B为平衡机构的平衡马达值，调节参数F为送料装置施加于基材的张力值。本发明的曝光方法，提高了FMM成品的质量和良品率。
天眼查资料显示，寰采星科技（宁波）有限公司，成立于2019年，位于宁波市，是一家以从事有色金属冶炼和压延加工业为主的企业。企业注册资本5890.0099万人民币。通过天眼查大数据分析，寰采星科技（宁波）有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目38次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息48条，此外企业还拥有行政许可12个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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