北京
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国家知识产权局信息显示，无锡昭蓝科技有限公司申请一项名为“一种三轴螺旋扫描运动控制系统”的专利，公开号CN121455024A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种三轴螺旋扫描运动控制系统，本发明涉及半导体制造检测装备技术领域，包括运动平台和控制器，所述运动平台用于承载和移动晶圆，所述控制器用于协调运动；所述运动平台包括X轴直线运动模块、Z轴直线运动模块和T轴旋转运动模块。该三轴螺旋扫描运动控制系统，通过X、Z、T三轴的特殊构型与协同控制，解决了单一运动轴固有的速度与精度矛盾，实现了高线速度下的稳定运行，确保了扫描路径的均匀覆盖与图像采集的精确同步，有效避免了传统扫描方式存在的漏检与运动模糊问题。
天眼查资料显示，无锡昭蓝科技有限公司，成立于2024年，位于无锡市，是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本150万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡昭蓝科技有限公司参与招投标项目2次，专利信息2条，此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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