北京
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国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“静电夹具装置”的专利，公开号CN121464400A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，静电夹具装置包括：夹具构件，夹具构件包括主体，主体限定多个夹具单元；其中每个夹具单元包括：主体的至少两个凸起支撑部，至少两个凸起支撑部在它们之间限定了凹部；以及静电板，静电板被定位在凹部中，其中静电板包括电极和介电层；以及致动器，致动器被机械地耦合到所述静电板并且被配置为在所述静电板上施加力，以使所述静电板相对于所述凸起支撑部移动。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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