中国囤积了800多台光刻机，美国的制裁完全跟不上中国突破的速度

前沿导读

美国在光刻机领域的对华制裁是循序渐进的，并没有一开始就封锁全部设备的出口。而是先封锁最先进的EUV，然后封锁先进的浸润式DUV，最后又封锁较为落后的浸润式DUV。

至于那些制造成熟芯片的干式DUV设备，美国并没有对其实施出口管制，一方面是因为西方国家需要中国企业用落后的设备制造成熟芯片，另一方面就是因为中国的自主光刻机已经实现了技术突破，可以在成熟芯片节点实现国产化替代，美国对同类型设备实施出口管制没有任何效果。

囤积设备

美国针对中国实施大规模设备禁运的政策发生在2023年，在此之前，ASML的EUV光刻机不被允许交付给中国企业，但是其他DUV光刻机依然可以正常交付。

根据ASML历年的官方财报显示，2022年中国大陆地区占ASML总销售的14%，2023年中国大陆地区占ASML总销售的29%。到了2024年，中国大陆地区占ASML总销售的比例暴增至41%，成为了ASML全球最大的单一消费市场。

2023年6月30日，荷兰政府发布公告称已制定全新的出口管制措施，该措施将限制ASML更多的芯片制造设备运往中国。该措施将于2023年9月1日正式实施，在此之前ASML可以正常交付中国企业所采购的设备。

此次出口管制针对的是NXT：2000i及以上先进浸润式光刻机的对华出口，略差一些的NXT：1980Di和NXT：1980Fi并没有被划分到管制条例中，可以继续向中国企业进行出口。

而那些能够制造45nm以上芯片的设备，如65nm~220nm制程的干式DUV光刻机 XT：400L、XT：1460K、NXT：870等设备，均不在荷兰政府的管控清单内，可以完全出口给中国企业。

据《环球时报》新闻指出，2023年9月1日ASML已获得最新的出口许可，可以在年底之前向中国客户交付已经下单的NXT:2000i及以上的浸润式光刻机。但是只限于交付之前签订合同的设备，不允许在此期间签订新的合作协议。

ASML发言人对此解释称：从9月开始的四个月期限是为了让ASML能够履行与中国客户的合同义务，但预计不会获得新出口许可证。

参考资料：
「链接」

据海关数据显示，2023年中国从荷兰进口的光刻机设备已经超过了2022年全年的总数量。在出口管制不断加码的情况下，中国企业抓紧一切时间从ASML手中采购所需的制造设备。

2023年8月29日，在时任美国商务部长雷蒙多访华期间，华为发布了mate60系列产品。该产品的突然发布在国内外引起了极大热度，其搭载的全新麒麟芯片也成为了国际技术机构重点关注的对象，同时也把中荷之间的光刻机业务推向风口浪尖。

加码制裁

2023年10月，由荷兰《新鹿特丹商报》记者马克·海金克所撰写的个人作品《FOCUS - THE ASML WAY》正式发布。

据海金克在作品中指出，2023年中国大陆地区总共持有800多台光刻机设备。其中有一半都在中国本土企业的手中，其余的则是被三星、SK海力士、台积电南京工厂等大陆合资企业所持有。

EUV光刻机无法进入中国市场，但中国企业采购的这些浸润式DUV光刻机还可以通过多重图案化技术制造先进芯片。不过这种技术的总体成本很高，一次曝光之后还需要经过多次沉积和刻蚀步骤的交替，一旦沉积和刻蚀设备的精度达不到要求，其芯片的良品率会变得非常低。

所以中国企业在采购ASML光刻机的同时，也采购了许多来自于美国应用材料、泛林、科磊所制造的沉积和刻蚀设备。

美国政府和美国企业很愿意看到这种场面，既压制了中国芯片的技术发展，又可以让美国企业从中赚的盆满钵满。

但出乎美国政府意料的是，中国企业真的拿DUV光刻机通过多重图案化技术实现了7nm芯片的量产，而且还以华为手机当做载体，直接放在市场上公开销售。

时任美国商务部长的雷蒙多还对此分析称，美国没有找到任何证据可以证明中国拥有批量制造7nm芯片的能力，华为新手机的发布不代表中国突破了美国的制裁。

参考资料：
雷蒙多：无证据显示中国能量产先进晶片 | 联合早报网

随着产品的更新以及芯片产能的提升，美国意识到中国掌握了某些突破封锁的技术方法，曾经购买的DUV光刻机成为了中国企业制造先进芯片的关键因素。

2024年9月6日，ASML发布公告称，荷兰政府发布了最新一轮的管制措施。在封锁NXT:2000i及以上光刻机对华出口的基础上，将差一些的NXT:1970i、NXT:1980i一并纳入管制范围，不允许ASML将纳入管制条例的设备出口给中国大陆地区具有Fin FET生产线的敏感工厂，该政策自发布后的第二天起立即生效。

参考资料：

• Statement regarding Dutch government's updated export license requirement

此次政策的生效时间非常短，完全没有给中国企业任何获得设备的机会。此前中国企业向ASML所提交的采购订单全部作废，已经进入运送阶段的设备紧急拦截，只要是ASML制造的浸润式光刻机，无论进入到哪个阶段，全部不允许与中国敏感的工厂建立联系。

美国对荷兰施压，企图封锁后续的设备来干扰中国先进芯片的研发进度，这本质上是一种亡羊补牢的做法。看似切断了中国企业获取先进光刻机的渠道，但是中国企业依靠曾经采购的设备，依靠国家给予的资金补助，再加上中国团队一直对其实施技术维护，这足以支撑起国产先进芯片的产能。