国家知识产权局信息显示,光驰科技(上海)有限公司申请一项名为“一种真空镀膜装置和镀膜均匀性修正方法”的专利,公开号CN121451134A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本发明公开了一种真空镀膜装置和镀膜均匀性修正方法。该真空镀膜装置包括真空室、第一靶材组、第二靶材组和基座;第一靶材组和第二靶材组设置在真空室内;基座绕第一轴线转动设置于真空室内,第一靶材组和第二靶材组分设于第一轴线的两侧;工件绕第二轴线转动设置于基座,第一轴线和第二轴线呈夹角设置;工件包括相邻且呈夹角设置的第一表面组和第二表面组,在与第一轴线垂直的第一平面内,以第一轴线与第一平面的交点为原点,以第一靶材组和第二靶材组的中分线为X轴建立直角坐标系,第一表面组在第一平面的投影线与X轴之间的夹角为角度α,角度α为40‑50度。通过采用上述方案,解决了难以修正工件表面的镀膜均匀性的问题。
天眼查资料显示,光驰科技(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本80000万日元。通过天眼查大数据分析,光驰科技(上海)有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目38次,财产线索方面有商标信息19条,专利信息362条,此外企业还拥有行政许可49个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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