国家知识产权局信息显示,三河建华高科有限责任公司申请一项名为“一种晶圆预对准方法”的专利,公开号CN121463770A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆预对准方法,涉及半导体领域;该晶圆预对准方法,采用单轴机器人模组组成的驱动组件,实现高速、高精度晶圆校准,晶圆位置的精度小于±0.1mm,晶圆缺边或缺口小于±0.1°;设备校准高效,定位晶圆缺口位置只需要3秒,能够快速完成晶圆中心与角度的补正动作,同时达成定位;CCD传感器采用高性能光学传感器,能够支持透明、半透明和不透明等物件的轮廓侦测功能,适用于直径100~300mm的晶圆及玻璃侦测;设备采用内嵌式控制器设计,无需额外设置控制器及走线空间,实现超小体积尺寸;适用于半导体、光电等高洁净度环境。
天眼查资料显示,三河建华高科有限责任公司,成立于2003年,位于廊坊市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4200万人民币。通过天眼查大数据分析,三河建华高科有限责任公司参与招投标项目57次,专利信息116条,此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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