北京
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国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板支承单元以及包括其的基板处理装置”的专利，公开号CN121443016A，申请日期为2025年4月。
专利摘要显示，本发明涉及一种基板支承单元以及包括其的基板处理装置，根据本发明的一实施例的基板支承单元，其特征在于，包括：垫盘，被安放基板；基底板，支承所述垫盘；以及接合层，用于结合所述垫盘和所述基底板，所述垫盘包括能够装卸的试样用垫盘。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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