国家知识产权局信息显示,江苏汇成光电有限公司申请一项名为“一种蚀刻机台用感应式保护装置”的专利,公开号CN121416396A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明涉及蚀刻机台保护技术领域,公开了一种蚀刻机台用感应式保护装置,包括设备本体,设置于所述顶腔上方的安装顶座,设置于所述安装顶座顶部的感应式传感器,设置于所述安装腔内腔的安装部件,设置于所述顶腔内腔的快速固定部件。该蚀刻机台用感应式保护装置,通过安装顶座上的感应式传感器采用非接触式的感应检测原理,传感器与目标物之间无物理接触和机械触压动作,彻底避免了因机械磨损产生的颗粒碎屑,极大降低了此类污染对晶圆产品良率的潜在威胁,满足了半导体制造中对洁净度的极致要求,且由于无机械运动部件,本发明从根本上克服了传统机械式开关因长期使用导致的金属疲劳、触点氧化等问题,使用寿命更长,工作状态更稳定。
天眼查资料显示,江苏汇成光电有限公司,成立于2011年,位于扬州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本86164.02万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏汇成光电有限公司参与招投标项目23次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息462条,此外企业还拥有行政许可67个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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