北京
国家知识产权局信息显示，江苏三米科思半导体设备有限公司申请一项名为“一种高精度ZT气浮电动主轴”的专利，公开号CN121417562A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体高精度检测及加工的技术领域，尤其涉及一种高精度ZT气浮电动主轴；包括气浮主轴、气浮轴套和电机外壳；气浮轴套固定于电机外壳上，气浮主轴通过压缩空气悬浮于气浮轴套内，并能够相对于气浮轴套旋转和轴向移动；轴向驱动组件包括音圈电机定子和音圈电机动子，音圈电机定子固定于气浮主轴的底部，负载平衡装置包括支撑轴的结构，达到了显著减少机械累计误差，大幅降低音圈电机推力需求并实现Z向高频高精度微动控制，并且能够提升主轴整体刚性，同时实现了晶圆扫描过程中稳定可靠的实时自动聚焦功能，并进一步消除了装配误差，全面提升了主轴模块的运动精度、响应速度与结构稳定性的效果。
天眼查资料显示，江苏三米科思半导体设备有限公司，成立于2020年，位于常州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏三米科思半导体设备有限公司财产线索方面有商标信息2条，专利信息21条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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