国家知识产权局信息显示,广州增芯科技有限公司申请一项名为“半导体结构的形成方法”的专利,公开号CN121376904A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,一种半导体结构的形成方法,包括:提供第一衬底,包括第一基底、第二基底和位于第一基底与第二基底之间的埋氧层;在第一基底内形成第一凹槽和初始第二凹槽,第一凹槽的底部暴露出埋氧层表面,第一凹槽的深度大于初始第二凹槽的深度,第一凹槽的宽度大于初始第二凹槽的宽度;采用循环工艺去除初始第二凹槽底部的第一基底,在第一基底内形成第二凹槽,循环工艺包括:对初始第二凹槽底部的第一基底进行氧化形成氧化层;去除氧化层;提供第二衬底,第二衬底内具有空腔;将第二衬底与第一衬底键合,第二衬底与第一基底相接,空腔与第一凹槽相连通,空腔与第二凹槽相连通。所述方法提升了导体结构的良率。
天眼查资料显示,广州增芯科技有限公司,成立于2021年,位于广州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本727500万人民币。通过天眼查大数据分析,广州增芯科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目52次,财产线索方面有商标信息53条,专利信息198条,此外企业还拥有行政许可180个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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