国家知识产权局信息显示,杭州中欣晶圆半导体股份有限公司申请一项名为“一种基于差异化修整抛光布工艺优化方法”的专利,公开号CN121374293A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体制造及精密加工技术领域,尤其涉及一种基于差异化修整抛光布工艺优化方法,旨在提高抛光布的修整平整度及盘型精度,从而提升产品加工质量,包括以下步骤:测量上下盘抛光布的厚度,获取上下盘抛光布的当前厚度数据;根据上下盘抛光布的当前厚度数据,结合双面抛光机出厂盘型,分别制定适合上下盘抛光布的修整程序;按照制定的修整程序,先对下盘抛光布进行修整,再对上盘抛光布进行修整;修整完成后,加工一定数量的抛dummy片以确认修整效果,根据dummy片厚度形貌图调整加工参数,确认修整效果合格后,进入试加工阶段,在加工预设量的抛产品后达到正片规格产品的加工水平。
天眼查资料显示,杭州中欣晶圆半导体股份有限公司,成立于2017年,位于杭州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本503225.6776万人民币。通过天眼查大数据分析,杭州中欣晶圆半导体股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目42次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息396条,此外企业还拥有行政许可22个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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