国家知识产权局信息显示,上海轩森自动化设备有限公司申请一项名为“一种便于定位的晶圆搬运装置及其使用方法”的专利,公开号CN121368364A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本发明公开了一种便于定位的晶圆搬运装置及其使用方法,涉及晶圆加工领域,包括安装架与传送带机构,所述安装架的顶部安装有晶圆搬运机构,所述传送带机构的顶部转动设置有固定台,所述固定台的顶部活动设置有活动台,所述传送带机构的固定架顶部活动设置有平移调整机构,所述平移调整机构的顶部安装有升降气缸。本发明通过平移调整机构对传送带机构上的晶圆位置进行调整,使其适配晶圆搬运机构的吸附位置,晶圆搬运机构可以更好对晶圆进行吸附,吸附稳定性更高,定位更准,有效的降低了晶圆碎片的可能性。
天眼查资料显示,上海轩森自动化设备有限公司,成立于2004年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析,上海轩森自动化设备有限公司专利信息1条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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